*1 該數(shù)值為3σ值,是在我司無塵實(shí)驗(yàn)室光學(xué)平臺(tái)下測(cè)得的鏡面標(biāo)準(zhǔn)塊的數(shù)值,輪廓數(shù)200000,積分時(shí)間200μs,手動(dòng)調(diào)光信號(hào)強(qiáng)度至20%;
*2 此速率下X方向掃描點(diǎn)數(shù)為1024點(diǎn),2048點(diǎn)時(shí)全量程掃描速率為2500Hz;
*3 此速率下X方向掃描點(diǎn)數(shù)為1024點(diǎn),2048點(diǎn)時(shí)全量程掃描速率為3100Hz;
*4 此時(shí)Z方向量程為全量程的1/8;
*1 該數(shù)值為3σ值,是在我司無塵實(shí)驗(yàn)室光學(xué)平臺(tái)下測(cè)得的鏡面標(biāo)準(zhǔn)塊的數(shù)值,輪廓數(shù)200000,積分時(shí)間200μs,手動(dòng)調(diào)光信號(hào)強(qiáng)度至20%;
*2 此速率下X方向掃描點(diǎn)數(shù)為1024點(diǎn),2048點(diǎn)時(shí)全量程掃描速率為2500Hz;
*3 此速率下X方向掃描點(diǎn)數(shù)為1024點(diǎn),2048點(diǎn)時(shí)全量程掃描速率為3100Hz;
*4 此時(shí)Z方向量程為全量程的1/8;